Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Книга "Взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой" является учебным пособием, посвященным изучению различных аспектов влияния света на полупроводниковые материалы и их обработку. Внимание уделено таким важным темам, как режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, а также отжиг и легирование полупроводниковых структур. Кроме того, в книге освещена тематика формирования контактно-металлизационной системы, планаризация и получение диэлектрических пленок. Эта информация может быть полезной для студентов, изучающих такие направления как нанотехнологии, микросистемная техника, конструирование и технология электронных средств, электроника и наноэлектроника. Учебное пособие предлагает читателям углубленное понимание процессов, происходящих при взаимодействии света с полупроводниками, и дает возможность применить полученные знания на практике.